愛德華螺桿真空泵是一種采用一對螺旋軸進行抽吸的新型吸氣機，它具有長壽命，低能耗，無油污染等特點，被廣泛用于制藥、化工、半導體等行業。

愛德華螺桿真空泵的技術原理：

該設備把兩個經過嚴格動平衡校正、用軸承做支撐的螺桿，安裝在泵腔內，并在兩個螺桿之間留下合理的空隙，設備運轉時，兩個轉子在泵腔內作同步高速反向旋轉，由此來產生吸氣和排氣。具體的工作過程分為三個:

1.吸氣過程

陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉，隨著轉子開始轉動，由于齒的-端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內部形成了一定的真空,而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下來流入其中。

2.壓縮過程

轉子端面是排氣端面，在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉于沿逆時針方向旋轉,隨著轉子的旋轉，齒間容積由于轉子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據體積也隨之減小，導致壓力升高，從而實現氣體的壓縮過程。

3.排氣過程

排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。